产品中心
Product Center
产品详情
主要用途：
曝光工程前，使 GLS 上部涂布的PR 达到恒温状态，达到缩短工程的 Tact Time和PR 的不变形,是防止产生不良的恒温恒湿 Chamber System
主要技术：
精确控温加热单元（ HCS热控系统） 西门子S7可编程控制系统 双流程精准控温列管型冷却系统 温度稳定性 : 23℃±0.5℃ 清净度度 : Class1(ISO14644-1) CDA洁净度：符合ISO12500标准。
产品规格
| KC-6000H | KC-12000H | ||
| 控制系统 | 西门子 PLC+Touch Screen | ||
| 电源 | 208V 三相 50HZ | ||
| 设备尺寸 | 1200（W）*2100（L）*1700（H） | 1400（W）*2500（L）*1700（H） | |
| 总功率 | Min:100W Max:300W | Min:1100W Max:2100W | |
| 加热器 | 1400W | 1800W | |
| CDA | 最大压力 | 1Mpa | |
| 进气压力 | ＜0.8Mpa | ||
| 进气温度 | ＜35℃ | ||
| 控制温度 | 23±0.5℃ | ||
| CDA处理量 | 2820 LPM | 5640LPM | |
| CHW | 冷冻水压力 | 0.4~0.6Mpa | |
| 冷冻水温度 | 14℃ | ||
| 冷冻水流量 | 22LPM | ||
| 冷却器 | 双流程精准控温列管型 | ||
| 管道尺寸 | 气路管道 | 2寸 法兰 | |
| 水路管道 | 3/4寸 卡套 | ||
冷却系统
参考流量：22L/Min Max 换热器型号：90系列
四管程双回路 降温精准控制流体 控制精度 ±0.5
优势：双回路精确控制降温温度，大范围余量降温控制能力
精确控温加热单元（ HCS热控系统）
卫生级工况 RA＜0.4UM
无极调控，无极调压、 主控PLC系统
控制精度 5‰ 可控范围±0.1°
主控系统：德国赛米控可控硅，西门子可编程控制器
工艺控制采用 电气专线专用，保证电气回路可靠性，使用编码制一线一用，信号线专线专色隔离制度保证安全可靠，干扰小精度高
