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Product Center
产品详情
主要用途:
曝光工程前,使 GLS 上部涂布的PR 达到恒温状态,达到缩短工程的 Tact Time和PR 的不变形,是防止产生不良的恒温恒湿 Chamber System
主要技术:
精确控温加热单元( HCS热控系统) 西门子S7可编程控制系统 双流程精准控温列管型冷却系统 温度稳定性 : 23℃±0.5℃ 清净度度 : Class1(ISO14644-1) CDA洁净度:符合ISO12500标准。
产品规格
KC-6000H | KC-12000H | ||
控制系统 | 西门子 PLC+Touch Screen | ||
电源 | 208V 三相 50HZ | ||
设备尺寸 | 1200(W)*2100(L)*1700(H) | 1400(W)*2500(L)*1700(H) | |
总功率 | Min:100W Max:300W | Min:1100W Max:2100W | |
加热器 | 1400W | 1800W | |
CDA | 最大压力 | 1Mpa | |
进气压力 | <0.8Mpa | ||
进气温度 | <35℃ | ||
控制温度 | 23±0.5℃ | ||
CDA处理量 | 2820 LPM | 5640LPM | |
CHW | 冷冻水压力 | 0.4~0.6Mpa | |
冷冻水温度 | 14℃ | ||
冷冻水流量 | 22LPM | ||
冷却器 | 双流程精准控温列管型 | ||
管道尺寸 | 气路管道 | 2寸 法兰 | |
水路管道 | 3/4寸 卡套 |
冷却系统
参考流量:22L/Min Max 换热器型号:90系列
四管程双回路 降温精准控制流体 控制精度 ±0.5
优势:双回路精确控制降温温度,大范围余量降温控制能力
精确控温加热单元( HCS热控系统)
卫生级工况 RA<0.4UM
无极调控,无极调压、 主控PLC系统
控制精度 5‰ 可控范围±0.1°
主控系统:德国赛米控可控硅,西门子可编程控制器
工艺控制采用 电气专线专用,保证电气回路可靠性,使用编码制一线一用,信号线专线专色隔离制度保证安全可靠,干扰小精度高